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真空环境的电子工艺要求

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-17 0:10:51 * 浏览: 8
根据美国洁净室标准,空气洁净度的分类基于每0.028m ^ 3的尘埃颗粒数,因此,在10,000级洁净室的0.028m ^ 3空气中,0.5um或更大的尘埃颗粒数较少超过10,000片。使用绝对过滤层流技术措施和室内套件结构,每0.028m ^ 3的尘埃粒子数可少于100。(1)电子组装所需的洁净室环境电子组装所需的洁净室环境一般z *低标准如表15-7所示。洁净室z *低标准还应包括温度和湿度控制。保持工作区域温度在20℃〜30℃之间,相对湿度为45%至55%,可以避免类似的汗水和静电污染。 (2)洁净室使用要求室洁净室使用要求如表15-8所示。4.表面净化方法洁净表面的评价方法如表15-9所示。